Rutherford-Reuckstreu-Analysen Mit Protonen

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Die Rutherford-Ruckstreu-Analyse gehOrt heute zu den Standa- verfahren in der Untersuchung VOn Oberflachenschichten. Ihre Fahigkeit der Tiefenrnikroskopie mit einer Tiefenauflosung von - einigen 100 A wird vor allem zu Materialuntersuchungen in der Halbleitertechnologie und der Kernenergietechnologie genutzt. Das starke Interesse, das diese Methode gefunden hat, lat es wunschenswert erscheinen, diese deutschsprachige Beschreibung zu veroffentlichen. Obwohl hier speziell die Verwendbarkeit der Ruckstreuung zu Analysezwecken bei kleinen Energien, wie sie von Niederenergiebeschleunigern geliefert werden, unt- sucht wird, wurde diese Arbeit so verfat, da sie auch als allgemeine Einfuhrung in die Methode verstanden werden kann. Ihr liegt die Diplomarbeit von Herrn A. Weller zugrunde, der den elektrostatischen Analysator gebaut sowie das Spektrensimu- lationsprogramm geschrieben hat (Institut fur Strahlen- und Ke- physik, Bonn, 1979). - 3 - Zusammenfassung Die Methode der Rutherford-Ruckstreuung (RBS) erlaubt es, quan- titative Analysen dunner Folien und Oberflachenanalysen mit hoher Empfindlichkeit und guter Genauigkeit durchzufuhren. Zusatzlich wird Information uber die Elementverteilung in einer Probe in Abhangigkeit von der Tiefe unter der Oberflache erhal- ten. Besonders diese Moglichkeit der Tiefenprofilmessung zeich- net die RBS vor anderen physikalischen Analysemethoden aus.